Εισαγωγή Προϊόντων

Γιατί η πλάκα Ta10W έχει τόσο υψηλή τιμή εφαρμογής;

Αυτό οφείλεται στο γεγονός ότι ο σχεδιασμός της σύνθεσής του και η προηγμένη διαδικασία προετοιμασίας όχι μόνο διατηρούν τα πλεονεκτήματα των μεμονωμένων μετάλλων, αλλά και επιτυγχάνουν καινοτομίες στην απόδοση μέσω των κραμάτων.

Όσον αφορά τη σύνθεση, η περιεκτικότητα σε ταντάλιο αυτού του προϊόντος είναι μεγαλύτερη ή ίση με 89,5%, και η περιεκτικότητα σε βολφράμιο ελέγχεται αυστηρά στο 9,5%~10,5%. Η αντοχή και η σκληρότητα του υλικού σε υψηλές-θερμοκρασίες βελτιώνονται σημαντικά μέσω του μηχανισμού ενίσχυσης στερεού διαλύματος. Ταυτόχρονα, η περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες όπως οξυγόνο (Μικρότερο ή ίσο με 0,03%), άνθρακας (Μικρότερο ή ίσο με 0,02%), άζωτο (Μικρότερο ή ίσο με 0,01%) ελέγχεται αυστηρά για να αποφευχθεί η δυσμενής επίδραση των ακαθαρσιών στην απόδοση των συσκευών ημιαγωγών.

Όσον αφορά την τεχνολογία, η τεχνολογία τήξης τόξου κενού χρησιμοποιείται για την αφαίρεση ακαθαρσιών αερίων και η κύλιση ακριβείας πολλαπλών διελεύσεων χρησιμοποιείται για τη διασφάλιση της ομοιομορφίας του πάχους της πλάκας. Τέλος, οι κόκκοι εξευγενίζονται μέσω επεξεργασίας ανόπτησης κενού, η οποία συνδυάζει υψηλή αντοχή και καλή πλαστική ανθεκτικότητα. Η επιμήκυνση μπορεί να φτάσει περισσότερο από 20% και δεν είναι επιρρεπής σε εύθραυστο κάταγμα.

Όσον αφορά τις βασικές επιδόσεις, η πλάκα Ta10W έχει πολλά πλεονεκτήματα: όσον αφορά τη σταθερότητα σε υψηλή{1} θερμοκρασία, το σημείο τήξης είναι τόσο υψηλό όσο 3020 μοίρες και μπορεί να διατηρήσει τη δομική σταθερότητα σε περιβάλλον υψηλής- θερμοκρασίας 1600 βαθμών . Έχει εξαιρετική αντοχή σε ερπυσμό και μπορεί να αντέξει τα φορτία διεργασιών σε υψηλές-θερμοκρασίες στην κατασκευή ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Όσον αφορά την αντοχή στη διάβρωση, παρουσιάζει ισχυρή ανοχή σε διαβρωτικά μέσα όπως το υδροχλωρικό οξύ, το νιτρικό οξύ, το aqua regia και τα οργανικά οξέα που είναι κοινά σε διεργασίες ημιαγωγών. όσον αφορά την απόδοση επεξεργασίας, έχει καλή απόδοση ψυχρής εργασίας και η τραχύτητα της επιφάνειας ελέγχεται στα 0,8μm Ra. Τα ακόλουθα πληρούν τις απαιτήσεις συναρμολόγησης ακριβείας των συσκευών ημιαγωγών. Επιπλέον, η υψηλή πυκνότητά του (16,6~16,8g/cm³) του δίνει εξαιρετικές δυνατότητες θωράκισης ακτινοβολίας και τα χαρακτηριστικά χαμηλής απορρόφησης νετρονίων του δίνουν επίσης μοναδικά πλεονεκτήματα στη διαδικασία εμφύτευσης ιόντων ημιαγωγών.

Περιγραφή προϊόντων

Όνομα προϊόντος	Ta10w Πλάκα τανταλίου
πυκνότητα	16,6~16,8 g/cm³
σημείο τήξης	3000~3080 μοίρες
μήκος	50~3000mm, προσαρμοσμένο
πλάτος	50~800mm, προσαρμοσμένο
πάχος	0,5~20mm, προσαρμοσμένο
ανοχή πάχους	±0,05 χλστ
αντοχή σε εφελκυσμό	Μεγαλύτερο ή ίσο με 550 MPa
αντοχή διαρροής	Μεγαλύτερο ή ίσο με 379MPa
επιμήκυνση	Μεγαλύτερο ή ίσο με 20%

Εφαρμογή Προϊόντων

Με τα ολοκληρωμένα πλεονεκτήματα απόδοσης, οι πλάκες Ta10W έχουν εκτεταμένες και βασικές εφαρμογές στη βιομηχανία ημιαγωγών, καλύπτοντας πολλαπλούς βασικούς συνδέσμους από την κατασκευή γκοφρέτας έως τη συσκευασία συσκευών:

Σκεπτικό πεδίο στόχου

Ως υλικό πυρήνα για την εναπόθεση λεπτής μεμβράνης ημιαγωγών, οι πλάκες Ta10W μπορούν να υποβληθούν σε επεξεργασία σε στρογγυλούς (διάμετρος 20~400mm) ή τετράγωνους (πλάτους 10~1000mm) στόχους, οι οποίοι χρησιμοποιούνται για την προετοιμασία βασικών μεμβρανών όπως στρώματα φραγμού και στρώματα ηλεκτροδίων σε συσκευές ημιαγωγών. Τα χαρακτηριστικά υψηλής{6}πυκνότητάς του εξασφαλίζουν επαρκή ατομική κινητική ενέργεια κατά τη διαδικασία εκτόξευσης και το σχηματιζόμενο φιλμ είναι πυκνό και χωρίς ελαττώματα-. Η εξαιρετική ηλεκτρική και θερμική του αγωγιμότητα διασφαλίζει τη σταθερότητα της διαδικασίας εκτόξευσης και μειώνει τον κίνδυνο υπερθέρμανσης και ρωγμάτωσης του στόχου. Η υψηλή καθαρότητα και η χαμηλή περιεκτικότητά του σε ακαθαρσίες αποφεύγουν τη μόλυνση του φιλμ, βελτιώνουν την ηλεκτρική απόδοση και την αξιοπιστία των συσκευών ημιαγωγών και χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή λογικών τσιπ, τσιπ μνήμης, ημιαγωγών ισχύος και άλλων προϊόντων.

Συστατικά διεργασίας υψηλής θερμοκρασίας

Σε διαδικασίες όπως η εμφύτευση ιόντων και η ανόπτηση σε υψηλές-θερμοκρασίες πλακών ημιαγωγών, οι πλάκες Ta10W χρησιμοποιούνται για την κατασκευή χωνευτηρίων, σκαφών, υποστηριγμάτων θερμαντικών στοιχείων και άλλων εξαρτημάτων. Μπορεί ακόμη να διατηρήσει τη δομική σταθερότητα σε περιβάλλοντα εξαιρετικά υψηλής-θερμοκρασίας άνω των 3000 βαθμών και δεν θα μαλακώσει ή παραμορφωθεί λόγω των υψηλών θερμοκρασιών. Έχει επίσης ισχυρή αντίσταση στη διάβρωση και δεν θα διαβρωθεί από διάφορα διαβρωτικά αέρια και χημικά αντιδραστήρια, βελτιώνοντας τον ρυθμό απόδοσης της επεξεργασίας του πλακιδίου. Επιπλέον, ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής επιτρέπει στα εξαρτήματα να είναι διαστασιολογικά σταθερά κατά τη διάρκεια επαναλαμβανόμενων κύκλων υψηλής και χαμηλής θερμοκρασίας, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων.

Στοιχεία κενού και διαβρωτικού περιβάλλοντος

Η κατασκευή ημιαγωγών πραγματοποιείται κυρίως σε περιβάλλοντα υψηλού κενού και εξαιρετικά διαβρωτικά. Οι πλάκες Ta10W μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την κατασκευή βασικών εξαρτημάτων όπως επενδύσεις θαλάμων κενού, σωλήνες, βαλβίδες και στεγανοποιήσεις. Η εξαιρετική του συμβατότητα με το κενό και η αεροστεγανότητα μπορούν να διατηρήσουν αποτελεσματικά ένα υψηλό κενό στο περιβάλλον της διεργασίας. Η ικανότητά του να αντέχει σε διαβρωτικά μέσα όπως το υδροχλωρικό οξύ, το νιτρικό οξύ και το aqua regia το καθιστά απαραίτητο σε εξοπλισμό διεργασίας όπως η υγρή χάραξη και ο καθαρισμός. Μπορεί να αντικαταστήσει τα παραδοσιακά υλικά ανθεκτικά στη διάβρωση-και να μειώσει το κόστος συντήρησης του εξοπλισμού και τους κινδύνους διακοπής λειτουργίας.